旋片式真空泵是油密封的旋轉(zhuǎn)式排量泵。泵系統(tǒng)包括一個(gè)殼 體 (1)、一個(gè)偏心地安裝的轉(zhuǎn)子 (2)、在離心力和彈力作用下 徑向移動(dòng)的葉片 (3) 以及入口和 (4)。入口閥（如配置） 被設(shè)計(jì)為真空閥，該閥在操作過(guò)程中始終處于打開(kāi)狀 態(tài)。工作室 (5) 位于殼體內(nèi)，并受到定子、轉(zhuǎn)子和葉片的限 制。偏心安裝的轉(zhuǎn)子和葉片將工作室分為具有可變?nèi)莘e的兩 個(gè)獨(dú)立艙。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體流入擴(kuò)大的吸入室直至其被 **個(gè)葉片封住。封閉氣體然后進(jìn)行壓縮，直到閥沖破 大氣壓力而開(kāi)啟。閥是油封的。當(dāng)閥打開(kāi)時(shí)，少量的油進(jìn)入吸入室，不僅能夠?qū)ζ溥M(jìn)行潤(rùn) 滑，而且能夠?qū)⑷~片與殼體（定子）密封開(kāi)來(lái)。

在氣鎮(zhèn)操作的情況下，一個(gè)孔向外側(cè)打開(kāi)，讓氣體流入前側(cè) 的密封吸入室。因此，在壓縮抽吸階段，在相對(duì)低的壓縮下 達(dá)到打開(kāi)閥所需的壓力。這使得蒸汽開(kāi)始冷凝前排出置 換的氣體/蒸汽混合物。在操作過(guò)程使用氣鎮(zhèn)達(dá)到的終壓力 高于無(wú)氣鎮(zhèn)操作所達(dá)到的壓力。

工作液、油

泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個(gè)任務(wù)要 執(zhí)行。它潤(rùn)滑移動(dòng)部件，填充閥下的固定空間以及 縮小入口和之間的間隙。它壓縮葉片和工作室之間的間 隙，此外還通過(guò)熱傳遞佳溫度平衡。

多級(jí)泵

旋片式真空泵是內(nèi)置的單級(jí)和兩極版。二極泵比單級(jí)泵實(shí)現(xiàn) 相對(duì)更低的極限壓力。此外，氣鎮(zhèn)對(duì)極限壓力的影響較低， 因?yàn)闅怄?zhèn)僅允許在高壓力級(jí)使用。

真空閥

根據(jù)所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空閥。 真空閥在有意或意外停頓的情況下將泵與真空室隔離， 并使用置換氣體對(duì)泵系統(tǒng)進(jìn)行排氣，防止油液上升到真空室 中。在開(kāi)啟泵后，一旦泵中的壓力已達(dá)到真空室中的近似壓 力，它稍作延遲就打開(kāi)。