什么是LPCVD？

日期：2024-12-20 19:06

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摘要：

LPCVD--Low Pressure Chemical Vapor Deposition 低壓力化學氣相沉積法用于氧化硅、氮化物、多晶硅沉積,過程在管爐中執(zhí)行，要求也相當高的溫度。

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