全球的真空產品及尾氣處理系統制造商及相應增值服務供應商Edwards集團公司(納斯達克代碼：EVAC)日前宣布，聯電公司(UMC)(紐約證券交易所代碼：UMC/臺灣證券交易所代碼：2303)已經收到一份來自新加坡國家環境局的基金。發放能效基金項目(GREET)激勵基金是因為聯電使用Edwards的環保型iXL120干式真空泵。

Edwards東南亞運營部總經理Kirel Tang說，“我們與聯電新加坡分公司密切合作進行申請。我們很高興他們獲得這種，這是真空泵**獲得該項目的，我們期待發展一種持續成功的合作關系。 ”

　　作為雙方長期關系的一部分，Edwards和聯電新加坡分公司合作申請這項基金。新加坡國家環境局(NEA)批準了能效基金項目(GREET)下的這項基金。該基金使Edwards iXL120成為款由于其環保特性而獲得的干式真空泵。

　　iXL120取代了老一代的Edwards泵，并將因為降低能耗和維護要求而減少運行成本。遴選過程包括對來自各供應商的泵進行競爭性評估。

　　“作為一名負責的企業公民，聯電持續更新設施以實現更環保、更可持續的制造工藝，”聯電新加坡Fab 12i制造廠的制造運營總監Johnson Liu說，“預計更換為Edwards iXL120不僅將使Fab 12i制造廠的生產更環保，還將幫助我們降低運營成本。”

　　小型低能耗iXL120干式真空泵是用于加載互鎖和清潔工藝應用中的、輕的泵之一。泵在綠色模式下功耗減少達95%，有助于降低成本和環境影響。泵抽氣速率高，具有同類中快的抽真空速度，其低能耗、小尺寸和低維護要求有助減少總體成本。