全球真空和尾氣處理設備和服務的主要供應商Edwards近日宣布，自2008年2月推出以來短短一年時間已經向半導體和太陽能制造商售出1000套應用于苛刻工藝的iXH干式真空泵。

　“太陽能和新半導體制造工藝(如砷化鎵化合物半導體)要求能夠處理大流量氫氣的真空，”Edwards公司的CEO尼格爾-漢頓(Nigel Hunton)說，“iXH系列干泵是為解決這些難題而設計的，它更長的使用壽命和更低的動力消耗從而減少了運行成本。iXH真空泵在業界的迅速推廣證明了它能成功應對這些挑戰。”

　　氫氣是一種難以抽取的氣體，因為它分子量小，粘度低。iXH真空泵系統采用一系列具有高抽氣速率的干式泵和增壓泵以達到佳的壓縮比，從而實現高效率地抽取氫氣。該系統為模塊化設計，可靈活配置，因此易于滿足太陽能和半導體制造工藝中的現場安裝和性能要求。部件可以上下堆疊，從而達到業內的占地面積。型號的 iXH真空泵可針對具體應用要求靈活配置，并且由單個控制器進行管理，對操作人員而言這是一種簡單易用、可無縫集成的真空系統。

　　與Edwards上一代真空泵相比，用于苛刻工藝的iXH干式真空泵系列具有更大的處理能力和較低的運行成本(CoO)。運行成本的下降是通過能耗下降10%、維修間隔延長以及意外停機時間減少而實現的。產品操作溫度范圍廣(有助于降低副產物的沉積)，粉末處理能力增強，并采用的氣體分配以及一種延長工藝壽命并減少泄漏危險的的真空泵密封。