產品詳情
簡單介紹：
確切地說，nXDS 泵是干式真空泵，和軸承及其碳氫化合物潤滑劑一樣，與真空環境是隔離的。 nXDS 泵適用于蒸汽處理制程，可用于某些涉及腐蝕性物質和微粒的泵送應用。
愛德華 nXDS6i-C 干式渦旋真空泵 渦卷真空泵 Edwards真空泵
詳情介紹：
概述
nXDS-C 泵是改進型的 nXDS，適用于蒸汽處理制程，可用于某些涉及腐蝕性物質的泵送應用。nXDS-C 型具有 Chemraz
® 內部閥和不銹鋼接頭，可提供額外的泵送介質防護。
用途
· 一般清潔泵送應用
· 電子掃描顯微鏡 - SEM
· 射束線和高能物理
· 前級渦輪泵
· 速離心機
· 覆層
· 低溫學
· 脫氣/硫化 - 油，環氧樹脂
· 蒸餾/萃取/過濾
· 冷凍干燥
· 熔爐
· 凝膠體干燥
· 實驗室工作臺上真空
· 激光、氣體回收和再循環
· 氦檢漏儀
· 負載鎖和傳輸腔
· 稀有氣體再循環
· 稀有氣體回收
· 冷凍制造
·
· 旋轉離心蒸發器
· SEM/FIB（離子束維修）
· 溶劑回收
· 表面科學儀器
· 一般清潔泵送應用
· 電子掃描顯微鏡 - SEM
· 射束線和高能物理
· 前級渦輪泵
· 速離心機
· 覆層
· 低溫學
· 脫氣/硫化 - 油，環氧樹脂
· 蒸餾/萃取/過濾
· 冷凍干燥
· 熔爐
· 凝膠體干燥
· 實驗室工作臺上真空
· 激光、氣體回收和再循環
· 氦檢漏儀
· 負載鎖和傳輸腔
· 稀有氣體再循環
· 稀有氣體回收
· 冷凍制造
·
· 旋轉離心蒸發器
· SEM/FIB（離子束維修）
· 溶劑回收
· 表面科學儀器
特點
· 真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
· 無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
· 無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
· 簡單的單側滾軸設計意味著例行維護工作可在數分鐘內完成，降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
· 用于實現蒸汽泵送的氣鎮功能
