萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵是氣體捕集泵，它的工作原理包括低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕獲。

    萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的抽速從800到60000升/秒(對氮氣)，共分七個規格，可用于產生高真空和真空，10-13～10-11mbar。

    萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的主要特點有：

    ·與相同口徑的其他泵比較，萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵具有大的抽速。對水蒸氣抽速。

    ·無碳氫化合物的污染，可以用來產生潔凈的高真和真空。

    ·只有在低溫泵啟動和時才需要前級泵。

    ·萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的MULTIPLE運行方式可以允許兩臺或兩臺以上的低溫泵同時工作，而共用一臺壓縮機。

    ·萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵裝有閥，如發生如斷電等意外，當泵內壓力過大氣壓150mbar時，閥自動打開。

    萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵采用的是電加熱、全程自動控制的方式。它的主要有：

    1、電加熱的方式無需氮氣，其運行成本比吹氮氣的方式低60%；

    2、在萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的過程中，溫度自**級冷頭向級冷頭逐漸升高，氣體依次排出，避免了吹氮氣中氣體同時放出后產生腐蝕性或危險性氣體的可能(如H2和O2，H2O和CO2)；

    3、自動控制器在全過程中對泵內壓力及溫度分布進行自動控制；

    4、迅速，耗時小于40分鐘；

    5、徹底，經50次快速后才需要一次。而其他的低溫泵每次進行5次快速后就要進行一次。